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在声波滤波器工作过程中，谐振器会产生热量，使器件温度升高，这一方面会使滤波器的特性发生变化，严重恶化性能，另一方面会导致谐振器产生不可逆转的损坏，甚至完全失效。因此提高器件的散热效率至关重要，尤其在某些高功率应用场景。现有技术的声波滤波器中，只有金属密封环和两块晶圆之间的金属焊盘是导热路径，散热效率较低。并且，由于封装晶圆外表面的焊球数量较少，散热效率同样较低，因此器件产生的热量难以散发出去。
为此，诺思微系统于2021年9月2日申请了一项名为“滤波器和电子设备”实用新型专利（申请号: 202122104631 .6），申请人为诺思（天津）微系统有限责任公司。
简而言之，诺思微系统的滤波器专利，通过对多个晶圆中设置谐振器、增加片上焊盘等方式，改善了滤波器散热效率低，功率容量小等缺点，提高了滤波器的生产良率。
诺思微系统有限公司深耕射频领域10余年，其核心产品具有国际领先水平，同时也是全球较早从事FBAR研究与产业化的团队之一。此外，诺思微系统还在国际顶级期刊和会议发表论文300余篇，承接国家重大科技计划、“863计划”等专项科研课题。